具有軟泵功能的閥門主要要求是避免湍流。當(dāng)閥門開啟時(shí)，湍流可能因顆粒旋轉(zhuǎn)而對負(fù)載鎖（LL）腔室的抽真空過程產(chǎn)生負(fù)面影響。此外，閥門開啟時(shí)因高壓差導(dǎo)致的快速壓力變化可能引發(fā)突發(fā)冷凝效應(yīng)，同樣會對工藝參數(shù)造成不利影響。

29.2 HV軟泵角閥可有效規(guī)避此問題。

29.2型軟泵功能使其特別適用于需在寬導(dǎo)電率范圍內(nèi)準(zhǔn)確校準(zhǔn)的大流量工況。通過將兩組高真空角閥集成于緊湊結(jié)構(gòu)中——主閥與旁通閥協(xié)同工作——實(shí)現(xiàn)了寬導(dǎo)電率覆蓋范圍。

閥體側(cè)面的調(diào)節(jié)輪可精細(xì)調(diào)節(jié)軟泵效果，從而在極寬導(dǎo)電率范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)與目標(biāo)工藝參數(shù)的完整匹配。

為確保簡單精細(xì)的調(diào)節(jié)與便捷復(fù)位，調(diào)節(jié)輪設(shè)有11個(gè)定位刻度。此設(shè)計(jì)既保障了參數(shù)設(shè)置的可重復(fù)性，也便于將相同參數(shù)復(fù)制應(yīng)用于其他閥門。

在此設(shè)計(jì)中，29.2型憑借其在精度與緊湊結(jié)構(gòu)方面的卓絕性能表現(xiàn)脫穎而出。其他配置需通過多組閥門和額外管路才能實(shí)現(xiàn)的功能，29.2型僅憑單一解決方案即可達(dá)成。

針對易產(chǎn)生冷凝的溫度敏感工藝，29.2型可配備集成式PTC加熱器。

尤其在太陽能電池或顯示器制造等高要求應(yīng)用場景中，當(dāng)負(fù)載鎖室容積較大且壓力條件變化時(shí)，29.2系列已充分展現(xiàn)其卓絕的“軟啟動”特性。

雙軟啟動功能的附加優(yōu)勢在于能顯著降低或消除脈沖噪聲，從而營造更安靜的生產(chǎn)/操作環(huán)境。

29.2高壓角閥配備軟泵功能，基于可靠堅(jiān)固的核心結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)長期免維護(hù)運(yùn)行。若需維護(hù)，操作簡便快捷。

29.2系列提供多種主閥與旁通閥組合方案：DN 100 mm主閥搭配DN 25 mm旁通閥，DN 160 mm主閥可選配DN 25、DN 40或DN 63 mm旁通閥。氣動執(zhí)行器提供兩種類型：帶關(guān)閉彈簧的單作用型（常閉）與雙作用型。該系列產(chǎn)品提供鋁制或不銹鋼材質(zhì)選擇。

標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接選項(xiàng)包含ISO-KF和ISO-K，亦可集成定制法蘭。視覺位置指示器與電位輸出信號均為標(biāo)準(zhǔn)配置。

可調(diào)軟啟動功能

主閥與旁通閥組合配置

軟啟動參數(shù)輕松復(fù)現(xiàn)

高壓差工況下仍保持全功能運(yùn)行

有效避免湍流與冷凝現(xiàn)象

大導(dǎo)電率范圍配合精細(xì)校準(zhǔn)

超長免維護(hù)運(yùn)行周期

快速便捷的維護(hù)操作

半導(dǎo)體制造

在芯片生產(chǎn)中，29.2型號可能用于真空腔體的氣體控制，其高密封性和低放氣率可避免工藝污染，確保晶圓加工精度。

真空鍍膜設(shè)備

鍍膜過程中需準(zhǔn)確調(diào)節(jié)氣體流量與壓力，29.2型號的耐高壓差特性可穩(wěn)定維持真空環(huán)境，提升膜層均勻性。

科研與高真空系統(tǒng)

實(shí)驗(yàn)室或工業(yè)研究中的高真空場景（如粒子加速器、表面分析儀器）對閥門可靠性要求高，29.2型號的長期免維護(hù)設(shè)計(jì)可降低停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。